QSY，DSY透明石英玻璃仪器

本标准主要用于半导体工业采用的透明石英玻璃仪器。其他冶金、化工、科学研究等所用透明石英玻璃仪器之技术要求均可参考本标准执行。透明石英玻璃仪器有QSY透明石英玻璃仪器和DSY透明石英玻璃仪器两种。技术要求 1．透明石英玻璃仪器的化学成分，热稳定性，抗结晶性和高温变色性，均不低于同类管材的要求。 2．透明石英玻璃仪器在加工过程中，应尽量消除应力，必须保证在常温下逐步升温至1100℃，在炉内自然冷却后无炸裂。 3．两种透明石英玻璃仪器均按加工部位的外观指标分为二级（见下表）。项目一 级二级色加工过程中混入（毫米） 0.1￣0.3 0.3￣1.0斑允许数量（个/100厘米[2]）≤2≤2外吊管接口应做到轴向平行径向垂直加工 1/2管材壁厚管材壁厚表面凸凹不大于所用管材壁厚型长度未注明非重要部位的自由公差（毫米）±3±3锥度（比例） 1∶5、1∶10、1∶15 1∶5、1∶10、1∶15磨口与未加工亮面呈直径圆周，弯曲度（毫米）±1±2磨磨口内亮面（毫米[2]）不允许 8口允许数量（个/100厘米[2]）不允许≤1配塞口的高低公差（毫米）±3±3合二通活塞对孔误差≤1/4≤1/3多通活塞对孔误差≤1/2≤3/5水面积（毫米[2]）≤10 11￣50迹允许数量（个/100厘米[2]）≤2≤2云在加工复杂器件的过程中不易避免的部位不允许不允许雾（半透明云雾）焊焊接之弯曲处熔合圆滑必须完全熔合必须熔合折料和料疙瘩处厚度在壁厚公差范围内在壁厚公差范围内接炸裂纹不允许不允许析晶和指纹印不允许不允许注：①密封性检验方法：将水盛入磨口仪器中，在不涂油脂的情况下，将塞塞紧，倒翻10次，每次在10秒内，用滤纸擦试无渗出水液为封口性能合格。②QSY透明石英玻璃仪器的非主体部分，在不影响性能的情况下，可用外径D19毫米以下的DTS1透明石英玻璃管（棒）。 4．透明石英玻璃仪器，非加工部位（允许加工后达到要求）的技术要求如下。（1）QSY透明石英玻璃仪器：仪器的一级品外观指标不低于相应管材的二级品；仪器的二级品外观指标不低于租应管材的三级品。（2）DSY透明石英玻玛仪器：仪器的一级品外观指标不低于相应管材的二级品；仪器的二级品外观指标不低于相应管材的四级品。